文章目录

0 引 言

1 正交耦合误差

2 正交耦合补偿原理

3 静电刚度补偿结构设计

4 测试结果与分析

5 结 论

文章摘要:为了减小正交耦合误差对硅微电子机械系统(MEMS)陀螺仪性能的影响,提高陀螺仪零偏精度,对MEMS陀螺仪正交耦合补偿技术进行研究。建立MEMS陀螺仪动力学模型,分析正交耦合产生的原因,介绍了各类正交耦合补偿机理。设计了一款可实现静电刚度补偿的MEMS陀螺仪,并利用绝缘体上硅(SOI)工艺进行制备。利用现场可编程门阵列(FPGA)实现陀螺仪静电刚度正交耦合闭环补偿,并对陀螺仪进行了测试。测试结果表明,MEMS陀螺仪经过静电刚度正交耦合补偿后,角度随机游走由■变为■,零偏不稳定性由4.58°/h提升为0.27°/h,零偏稳定性由71.86°/h提升至1.29°/h(10 s平均处理),全温范围内零偏变化量由0.648°/s降低为0.01°/s。实验结果显示,经过正交耦合静电刚度闭环补偿,陀螺仪零偏性能明显提升。

文章关键词:

论文作者:任臣 王宁 杨拥军 王晓 

作者单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 

论文DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2022.02.008

论文分类号: TH824.3

文章来源：微电子学与计算机 网址: http://wdzxyjsj.400nongye.com/lunwen/itemid-147191.shtml

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